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催化燃烧工艺流程可分为3种

1、预热式。 预热式是催化燃烧的基本的流程形式，有机废气温度在100℃以下、浓度也较低时，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。通常采用煤气或电加热将废气升温至催化反应所需的起燃温度；燃烧净化后的气体在热交换器内与未处理的废气进行热交换，以回收部分热量。  

2、自身热平衡式。  有机废气温度高且有机物含量较高，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用，通过热交换器回收部分净化气体所产生的热量，正常操作下就能够维持热平衡，不需要补充热量。 

3、吸附-催化燃烧。 当有机废气的流量大、浓度低、温度低、采用催化燃烧需消耗大量的燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上并进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气（可浓缩10倍以上）后再进行催化燃烧。不需要补充热源就可以维持正常运行。

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在vocs催化燃烧系统中，反应空速通常指体积空速（ghsv），体现出催化剂的处理能力:反应空速是指规定的条件下，单位时间单位体积催化剂处理的气体量，单位为m3/(m3催化剂?h)，可简化为h-1。例如产品标注空速30000h-1：代表每立方催化剂每小时能处理30000m3废气。空速体现出催化剂的vocs处理能力，因此和催化剂的性能息息相关。

金属催化剂的性能与金属的含量、颗粒大小和分散度相关。理想状态下，金属高度分散，此时的金属以很小的颗粒（几个纳米）存在于载体上，金属得到很大程度的利用，此时催化剂的处理能力与金属含量成正相关。然而当金属含量高到一定程度后，金属颗粒容易---长大成为较大的颗粒，金属与vocs的接触面反倒下降，大部分金属被包在内部，此时增加金属含量反而不利于催化剂活性的提高。